“EUV光刻胶,那是光刻机皇冠上的宝石。以前全被日本JSR和信越化学垄断了。他们卡我们的脖子,卖给我们的都是落后两代的货色,还爱卖不卖的。”
女博士咬了咬牙,显然以前没少受气。
“但是现在,我们有了这个!”
她举起那个深褐色的小瓶子:
“按照您给的‘化学放大型’配方,我们合成出了这种新型光刻胶。”
“它的感光度极高,只需要极少的EUV光就能发生反应。而且,它的分辨率能达到5纳米级别!边缘粗糙度极低!”
“我们做了对比测试,性能比日本最顶级的货还要好30%!而且成本只有他们的一半!”
女博士激动得眼圈都红了,声音哽咽:
“老板,有了这个,我们就再也不用看日本人的脸色了!这是咱们中国人自己的配方!是您给我们的配方!”
“您知道吗?当我们把这个配方做出来的时候,大家都觉得不可思议。这种分子结构的组合,这种引发剂的选择,完全颠覆了现有的教科书。老板,您在材料学上的造诣,简直让我们这些博士汗颜。您要是还有关于底部抗反射涂层(BARC)的新想法,一定要告诉我们啊!我们现在干劲十足,就等着您的新指示呢!”
除了光刻胶,还有掩膜版。
那是芯片电路图的底片。
“这是EUV掩膜版。”
另一位工程师拿出一块黑色的板子,小心翼翼地放在测试台上。
“它不再是透明的玻璃,而是一块反射镜。上面覆盖了特殊的吸收层。”
“这种结构,能承受EUV光的高能轰击而不变形。这是我们按照您的‘无缺陷多层膜沉积’技术做出来的。”
“全球独一份!ASML之前还在用透射式的思路呢,当然现在他们已经不存在了!”
工程师看着林平安,眼神热切:“老板,您这脑子里到底还装了多少好东西?能不能一次性都拿出来?让我们也跟着您一起见证奇迹!”
……
从5层到16层。