电梯继续上行,来到了第九层。
这里是光学与机械系统实验室。相比于楼下的狂暴能量,这里显得更加静谧,但也更加精密。地板是防震的,空气中几乎没有一丝尘埃。
“老板,这边请。”
这一层的负责人是李工,一位头发花白的老工程师,曾在国内某精密仪器厂干了一辈子,后来被高薪请出山。此时的他,虽然年纪大了,但腰杆挺得笔直,精神矍铄。
“老板,您那个‘全反射光学系统’的思路,真是绝了!我搞了一辈子光学,从没见过这么大胆的设计!”
李工带着林平安走进了一间超净室。
这里摆放着一组巨大的、形状怪异的镜子。它们不是普通的平面镜,而是有着极其复杂的曲面。
“以前的光刻机,用的都是透镜。就像相机的镜头一样,光线穿过去。那是咱们的传统强项。”
“但是EUV光太娇气了,穿透力极差,任何玻璃都会把它吸收掉。所以,必须用反射镜!但这反射镜的精度要求,简直是变态!”
李工指着那几面镜子,语气中满是赞叹:
“这些镜子,表面镀了上百层钼和硅的纳米薄膜。每一层的厚度,都要控制在原子级别!稍微有一点误差,光线就散了。”
“这还不是最难的。最难的是镜面的平整度。”
李工拿出一张示意图,指着上面的一条近乎完美的直线:
“如果把这面镜子放大到整个地球那么大,那么它表面的起伏,不能超过一根头发丝!这就是您要求的精度!”
“我们按照您的‘离子束修形’工艺,磨了整整两个月,报废了几十块材料,终于磨出来了!”
李工抚摸着那是镜子的外壳,就像是在抚摸情人的肌肤。
“老板,您知道吗?当我们第一次测试反射率达到70%的时候,整个实验室的人都哭了。这是世界纪录啊!蔡司现在的水平也就65%!”